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      程先生
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      陕西 西安 雁塔区 丈八二路16号
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    是否进口：否加工定制：是品牌：TKA太康
    型号：代理设备

    原子层沉积系统详细介绍

    1.高精度真空计

    2.反应腔体

    3.难挥发及固态前驱体通道

    4.电磁阀组

    5.流量计

    6.臭氧发生器

    7.阀门控制仪

    8.温度控制仪

    9.压力显示器

    10.流量控制仪

    11.气态前驱体通道

    12.质量流量计

    13.挥发性液态前驱体通道

    14.特种液态前驱体通道（TMA、DEZ等）

    15.真空调节阀

    16.机械真空泵

    17.废气处理罐

    18.粉尘过滤器


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